原子熒光光譜分析法是20世紀六十年代中期以后發展起來的一種新的痕量分析方法。原子蒸氣受到具有特征波長的光源照射后，其中一些自由原子被激發躍遷到較高能態，然后活回到某一較低能態（常常是基態）而發射出的特征光譜叫做原子熒光。各種元素都有其特定的原子熒光光譜，根據原子熒光強度的高低可測得試樣中待測元素的含量，這就是原子熒光光譜儀分析（AFS）。
根據Beer-Lambert’s Law和泰勒級數展開，可得：在實驗條件固定，原子化效率固定時，原子熒光強度If 和低濃度的試樣的濃度C成正比。即：
If=αC （α為常數）
HG-AFS是基于以下反應將分析元素轉化為室溫下的氣態氫化物：
NaBH4 + 3H2O + HCl == H3BO3 + NaCl + 8H+
（2+n）H+ + Em+ == EHn + H2
式中的Em+ 是指可以形成氫化物元素的離子，如鉛、砷、銻、鉍、硒、碲、錫、鍺等，另外汞可以形成氣態原子汞，鎘和鋅可生成氣態組分，均可以用本方法分析。生成的氫化物被引入特殊設計的石英爐中，在此被原子化，然后受光源激發產生原子熒光。